产品中心

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槽式湿法设备(Cassette Less )

1.占地面积小  2.单位产出高  3.优化的空气和槽体流场 

Semi-auto FOUP Cleaner

外形尺寸:L*W*H(单位mm)==2100x1500x2700mm(可分体进场,最低进入高度为2300mm)

单片湿法设备-背面腐蚀清洗 BGBM

外形尺寸:L*W*H(单位mm)=2870mmx2000mm×2130mm(分体进场,不同配置长度会变化)

单片湿法设备-金属剥离-Metal lift off

外形尺寸:长 x 宽x高(单位mm)=2470mmx2000mm×2130mm(分体进场,不同配置长度会变化)

槽式湿法设备(Cassette Type)

1.占地面积小  2.单位产出高  3.优化的空气和槽体流场 

马兰格尼干燥(Marangoni Dryer)

外形尺寸:长 x 宽x高(单位mm)=2130mmx1050mm×3050mm

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