马兰格尼干燥(Marangoni Dryer)

外形尺寸：长 x 宽x高(单位mm)=2130mmx1050mm×3050mm

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所属分类：

槽式湿法设备

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马兰格尼干燥(Marangoni Dryer)

设备功能及信息概述：

外形尺寸	长 x 宽x高(单位mm)=2130mmx1050mm×3050mm
设备重量	700Kg
设备特点	1、IPA和N2分别利用高洁净过滤器进行过滤，确保极低Particle残留 2、采用常温N2进行IPA雾化，降低IPA爆燃可能性 3、干燥时间短,IPA用量低 4、IPA浓度实时检测，防止IPA外泄 5、水阻值实时检测，异常时及时报警确保清洗品质 6、晶圆无水渍残留
干燥	Wafer
控制及通讯形式	PLC控制，Ether CAT，TCP/IP、Modbus等多种通讯方式可选
安全性能	IPA浓度检测、Wafer到位检测、干燥腔到位检测、安全门互锁、漏液检测等配备齐全
可靠性能	高洁净气源、液源控制。
应用场所	集成电路、MEMES、LED

北京分公司

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