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企业介绍　ABOUT US

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　　安徽万维克林精密装备有限公司主要从事集成电路、MEMS，第三代化合物半导体，硅片厂，科研院校等领域湿法制程设备、附属清洗设备，以及自动化设备的生产与销售为一体的装备制造企业。主要产品包括WET Bench（湿法蚀刻清洗系列）、Parts clean(附属零部件清洗)、Loadport、SMIF（移载传送设备）、N2 loadport改造，Gas box（气体柜）、Facility（辅助设备）等设备。同时公司与多所院校研究所合作，逐步提升公司的技术实力与产品竞争力，成为有担当有影响力的半导体企业。

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湿法制程设备
半导体自动化设备
自动化器件
附属产品
立/卧式管舟清洗设备（Tube clean）
立/卧式管舟清洗设备（Tube clean）
型号：WTCA300—H—002系列
目标客户：硅片厂    硅材料研究院所
1.工艺过程全自动处理；
2.可预设多条Recipe，操作简洁；
3.自动补、配液；
4.选配SECS/GEM接口；
5.根据工艺需求、模块化，配置Leak Sensor。
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立/卧式管舟清洗设备（Tube clean）
全自动晶舟清洗设备（Foup Cleaner）
全自动晶舟清洗设备（Foup Cleaner）
型号：WVCM200—P—002
（Cassette Foup 兼容清洗功能，手动拆解干进干出）
目标客户：FAB 外延厂
1.支持EAP、FDC、MES等功能；
2.PLC+触摸屏控制方式，可预设多条Recipe；
3.IR石英加热系统；
4.软件多重互锁，Cassette防呆设计；
5.多任务并行处理，有效提高产能；
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全自动晶舟清洗设备（Foup Cleaner）
全自动晶舟清洗设备（Foup Cleaner）
全自动晶舟清洗设备（Foup Cleaner）
Foup Claaner：为半导体先进制程FAB必备设备，清洗洁净要求高，为国外垄断技术设备
应用场景：FAB 内有几百个Cassett 和Foup承载着晶圆，在各个工艺段做工艺。因直接接触晶圆，故须在Foup Cleaner设备内清洗以保障其洁净
型号：WW—WFC600VC系列
1.具备两个OC以及两个Chamber满足客户产能需求高压去离子喷淋；
2.FOUP本体和Cover分离清洗；
3.OC具备Wet Clean、甩干以及真空+IR干燥功能；
4.最大清洗能力18UPH。
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全自动晶舟清洗设备（Foup Cleaner）
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厂务及设备端CDS（化学液供应系统）
厂务及设备端CDS（化学液供应系统）
型号：WNBS100—001
目标客户：厂务，及各种化学品供应系统
Chemical Distribution System：
1.用于半导体制程中湿法工艺涉及的高纯化学药液的自动供给；
2.可灵活实现化学药液的多点供应；
3.可配置多桶，自动切换，实现不间断工作；
4.可配置双泵，一用一备，提高设备可靠性。
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厂务及设备端CDS（化学液供应系统）
6寸槽式全自动清洗设备
6寸槽式全自动清洗设备
型号：WVA200—W系列
目标客户：硅片厂、化合物工厂、研究院所、FAB
1.设备实现自动作业，自动过程控制工艺、干燥作业的湿法工艺解决方案；
2.具备热N2干燥、Spin Dry选择;
3.有效控制金属、材料及微粒子的交叉污染。
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6寸槽式全自动清洗设备
8寸全自动槽式湿法工艺制程设备
8寸全自动槽式湿法工艺制程设备
型号：WVA200—P系列
目标客户：化合物厂、硅片厂、FAB
工艺应用：
OXIDE  Reclain、RCA、Pre—Diffusion、Pre—Metal
设备特点：
1.实现Cassetteless清洗；
2.具备热N2干燥、Spin Dry以及IPA Dry 选择；
3.良好的设备稳定性和可靠性；
4.有效控制金属、材料及微粒子的交叉污染。
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8寸全自动槽式湿法工艺制程设备
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E-Rack ：电子货架
E-Rack ：电子货架
型号：WNBP-1-001
本体布局：共五层，每层可放置5个Reticle，合计25个储位，每个Reticle对角有定位装置，斜顶设计，降低粒子积尘
1.LED Display，显示操作成功与否，及每个Reticle的详细信息；
2.RFID Reader，判断存储位是否被占用并读取Reticle信息；
3.XCDA Purge，每个存放Reticle位置上部都配有XCDA Purge吹扫口，每个Reticle位置气体流量30NL/min（0.4MPa时），每层通过流量开关实现2~200L/Min流量调节并配手阀开关，可控制吹扫频率，配置XCDA低压报警装置。
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E-Rack ：电子货架
Load Port
Load Port
型号：WNBP-1-003
目标客户：主要用于半导体晶圆搬运和传输等装置，如EFEM、倒片机等
1.FOUP内晶圆片检测，可检测出叠片，斜插跨片等；
2.可加增FOUP内高纯氮气进排吹扫，即N2 Purge功能；
3.可选RFID读取器和Mapping sensor；
4.可加增Optical I/O（符合E84标准);
5.Modbus TCP/IP通讯方式.
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Load Port
AIV/AGV ：自动搬运小车
AIV/AGV ：自动搬运小车
目标客户：汽车、电子产品、食品和消费产品、医疗
1.高精度定位，协作机器人内建视觉系统，具有强大视觉定位功能，使用Land Mark能精准对物体进行抓放；
2.可安全的与人协同工作；
3.对环境及工作流程的改变有良好的适应性；
4.实时扫描环境与内部地图进行比对来实现定位，优化路径选择；
5.可在电脑上进行直观设置；
6.可自定义自动搬运设备 （如传送带等）；
7.一个车队调度控制器可协调多台设备；
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AIV/AGV ：自动搬运小车
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防爆柜
防爆柜
防爆柜    型号：WNBP—2—003
1.用于存放易爆化学品，可燃性危化品，易燃性危化品，有毒危化品，腐蚀性危化品
2.防火柜产品取得出口欧盟的CE强制认证，按美国专业防火标准FM6050，获取权威FM认证取得OSHA 29 CFR 1910.106及NFPA CODE 30符合性证明，同时符合《危险化学品安全管理条例》等规范要求
3.优质三点联动式门锁
4.内置经典接地传导端口，减少静电
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防爆柜
氮气柜
氮气柜
氮气柜（N2 Box）型号：WNBP—2—002
1.用于存储Watfer、Parts、石英管/舟
2.具备FFU系统，提供Class1000以上洁净环境
3.具备PTC加热器系统，柜内温度RT~50℃可设定
4.具备N2 Purge功能，营造柜内干燥低氧环境
5.PLC+触摸屏控制方式，预设多种Recipe
6.参数设定，过程监控，操作简洁
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氮气柜
Hard bake oven
Hard bake oven
型号：WNBP—2—001
目标客户：Fab
1.适用于4—8寸晶圆的高温烘烤；Parts烘干
2.最低含氧量可<10ppm
3.可满足Class 100以上洁净度要求
4.温度范围：RT（室温）+20~500℃
5.最大烤箱尺寸可容纳：12个8寸Cassette
6.降温方式：风冷、水冷
7.PLC+IPC控制，可预设多条Recipe，实现梯度升温和降温
8.支持EAP、FDC、MES等功能
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Hard bake oven
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电话：0551-68661089

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