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企业介绍　ABOUT US

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　　安徽万维克林精密装备有限公司主要从事集成电路、MEMS，第三代化合物半导体，硅片厂，科研院校等领域湿法制程设备、附属清洗设备，以及自动化设备的生产与销售为一体的装备制造企业。主要产品包括WET Bench（湿法蚀刻清洗系列）、Parts clean(附属零部件清洗)、Loadport、SMIF（移载传送设备）、N2 loadport改造，Gas box（气体柜）、Facility（辅助设备）等设备。同时公司与多所院校研究所合作，逐步提升公司的技术实力与产品竞争力，成为有担当有影响力的半导体企业。

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湿法制程设备
半导体自动化设备
自动化器件
附属产品
6寸槽式全自动清洗设备
6寸槽式全自动清洗设备
○ 可以提供完整的湿法工艺解决方案
○ 设备依据客户需求量身定做
○ 良好的设备稳定性和可靠性
○ 有效控制金属、材料及微粒子的交叉污染
○ 软件和硬件的模块化设计
○ 选配SECS/GEM接口
○ 支持厂务MES自动化控制系统
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6寸槽式全自动清洗设备
8寸槽式全自动清洗设备
8寸槽式全自动清洗设备
○ 可以提供完整的湿法工艺解决方案
○ 设备依据客户需求量身定做
○ 良好的设备稳定性和可靠性
○ 有效控制金属、材料及微粒子的交叉污染
○ 软件和硬件的模块化设计
○ 支持SMIF自动传输
○ 软件支持GEM/SECSII 接口，提供EAP功能
○ 实时记录生产数据，多种数据分析功能
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8寸槽式全自动清洗设备
Tube/Boat Clean（立式/卧式）
Tube/Boat Clean（立式/卧式）
○ 支持EAP,FDC,MES等功能；
○ PLC触摸屏控制方式；
○ 可预设多条Recipe;
○ 自动补、配液；
○ 软件多重安全互锁；
○ 多任务并行处理，有效的提高产能；
○ 工艺窗口开放，各工艺时间可自由设定。
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Tube/Boat Clean（立式/卧式）
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Load port
Load port
○ Load Port被安装在EFEM前，用来作为wafer进出EFEM的窗口；
○ 用于工具自动化的智能且灵活的工厂接口模块；
○ 支持卓越的可靠性和超净性能；
○ 最大程度地实现交互操作性，无缝互换性和易于配置；
○ 与所有手动或通过AMHS车辆交付的符合SEMI要求的FOUP和自动前开式装运箱（FOSB）兼容；
○ 在搬运过程中用来保持wafer的洁净度。
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Load port
SMIF
SMIF
ASL200用于与工艺设备的装载端口传送，可轻松地将SMIF-Pod的装卸集成到各种200 mm和150 mm晶圆处理装载工具。 ASL200专为需要真空加载锁定工具的自适应和设备制造商应用而设计，是一种多种晶圆厂工具提供SMIF功能，并在缩短周期时间和减小占位面积，晶圆监测和重新定位功能等的特点。
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SMIF
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N2 purge for OHB
N2 purge for OHB
OHB- over head buffer （ASNO300）
当制程到28nm及以下的时候，会增加多道往FOUP冲N2的工艺流程，来提升晶圆的良率，需要在OHB上面安装N2 purge 的设备 主要目的是降低FOUP内的O2和H2O含量，防止污染Wafer,减少FOUP中附着的残留化学物质和Particle,延长wafer的Q-Time 匹配Fab中OHB安装尺寸
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N2 purge for OHB
N2 purge for LP(ASNL300)
N2 purge for LP(ASNL300)
○ 降低FOUP内的O2和H2O含量，防止污染Wafer。
○ 减少FOUP中附着的残留化学物质和Particle。
○ 延长wafer的Q-Time。
○ 支持多款Load Port品牌，包括TDK、Rorze、神冈等
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N2 purge for LP(ASNL300)
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FOUP Buffer
FOUP Buffer
FOUP Buffer (ASF300)
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FOUP Buffer
防爆柜
防爆柜
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防爆柜
氮气柜
氮气柜
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氮气柜
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电话：0551-68661089

网站：www.oneweklin.com

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