产品中心

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多模块半自动机

具备IPA Dry、Spin Dry选择; 可预设多条Recipe,操作简洁、可支持多批次清洗提升产量

酸碱腐蚀清洗机

具备IPA Dry、Spin Dry选择; 可预设多条Recipe,操作简洁、可支持多批次清洗提升产量

有机清洗机

具备IPA Dry、Spin Dry选择; 可预设多条Recipe,操作简洁、可支持多批次清洗提升产量

RCA清洗设备

具备IPA Dry、Spin Dry选择 可预设多条Recipe,操作简洁、可支持多批次清洗提升产量

炉管清洗设备(Tube Cleaner -立式)

外形尺寸:L*W*H(单位mm)=2700×2200×2900mm (根据不同清洗规格而定)

炉管清洗设备(Tube Cleaner -卧式)

外形尺寸:L*W*H(单位mm)=2600×2900 (包含排风阀,本体2710mm)×3500mm (包含机械臂罩,本体2720mm)

炉管清洗设备(EPI Cleaner )

外形尺寸:L*W*H(单位mm)=3600×1900×2900mm(根据不同清洗规格而定)

光罩盒清洗设备(Auto POD Cleaner)

外形尺寸:长*宽*高(单位mm) = 2500mmx1650 mmx 2400 mm

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