Auto POD Cleaner

外形尺寸：长*宽*高(单位mm) = 2500mmx1650 mmx 2400 mm

关键词：

Auto POD Cleaner

所属分类：

片盒清洗设备

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Auto POD Cleaner

设备功能及信息概述：

外形尺寸	长宽高(单位mm) = 2500mmx1650 mmx 2400 mm
设备重量	2000Kg
设备特点	支援AMHS系统，快速清洗/干燥，可检测POD内温湿度。
设备结构	Loadport1 + Opener1 + XCDA Purge1 + Clean Chamber1
清洗/蚀刻形式	Hot DIW喷淋清洗
干燥、控制形式	Hot CDA吹扫 + IR烘干
控制方式	PC +PLC
安全性能	光栅检测、Interlock、防呆设计、漏液检测、光罩检测、光罩盒在位检测等配备齐全
应用场所	FAB、光罩厂
洁净环境	① U17高效过滤器(99.999995%0.12μm)。②离子风棒静电消除

北京分公司

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