Semi-Auto FOUP Cleaner

外形尺寸：L*W*H(单位mm)==1600x1650x2700mm

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片盒清洗设备

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Semi-Auto FOUP Cleaner

设备功能及信息概述：

外形尺寸	LWH(单位mm)==1600x1650x2700mm
设备重量	1650Kg
设备特点	干进干出，兼容性高，定制性强。人工分离清洗工件及更换工装（不同的清洗产品配有不同的工装）
清洗功能	UPW清洗+Hot UPW清洗+表面活性剂清洗（可选）
清洗形式	旋转式内外喷淋自动清洗，360°清洗无死角，可正、反旋转，转速可调节
干燥形式	IR烘干+旋干+CDA/N2吹扫
控制形式	PLC+触摸屏控制（一键式操作），可预设多条Recipe,操作简洁（选配SECS/GEM接口）
安全性能	工装到位检测、防呆设计、旋转机构振动监测、漏液检测等配备齐全
可靠性能	①ULPA高效过滤器≥99.9995%@（0.1-0.2）um。②静电离子消除。③扫码系统（选配）
性能参数	电压：3相，AC380V，50Hz；功率：Max 42KW；CDA压力：≥0.6MPa
性能参数	CDA流量：Max 460L/min；N2压力：≥0.6MPa；N2流量：Max 1000L/min

北京分公司

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