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Semi-auto FOUP Cleaner

Semi-auto FOUP Cleaner

外形尺寸：L*W*H(单位mm)==2100x1500x2700mm（可分体进场，最低进入高度为2300mm）
光罩盒清洗设备(Auto POD Cleaner)

光罩盒清洗设备(Auto POD Cleaner)

外形尺寸：长*宽*高(单位mm) = 2500mmx1650 mmx 2400 mm
Auto FOUP Cleaner

Auto FOUP Cleaner

外形尺寸：L*W*H(单位mm)=3900x3700x3200mm（进厂搬运组件最大宽度1600mm）
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