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炉管清洗设备(Tube Cleaner -卧式)

外形尺寸:L*W*H(单位mm)=2600×2900 (包含排风阀,本体2710mm)×3500mm (包含机械臂罩,本体2720mm)

炉管清洗设备(EPI Cleaner )

外形尺寸:L*W*H(单位mm)=3600×1900×2900mm(根据不同清洗规格而定)

Auto POD Cleaner

外形尺寸:长*宽*高(单位mm) = 2500mmx1650 mmx 2400 mm

Auto FOUP Cleaner

外形尺寸:L*W*H(单位mm)=3900x3700x3200mm(进厂搬运组件最大宽度1600mm)

化学供应系统(CDS、DSP、DINH3)

设备构成:由本体、输送系统、排液系统、混液系统、电气控制系统等部分组成

附属湿法设备(Parts Cleaner)

外形尺寸:L*W*H(单位mm)=2400×1300×2400mm(不含排风法兰2100mm)

附属湿法设备(Parts Oven)

腔室尺寸:H*W*D(单位mm)=800×800×800mm 外形尺寸:H*W*D(单位mm)=1760×1760×2100mm

附属湿法设备(Tube Oven)

腔室尺寸:H*W*D(单位mm)=1500×1200×600mm 外形尺寸:H*W*D(单位mm)=2100×2500×1500mm

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