产品中心

Product Center

钟罩清洗机

外形尺寸:1300L×1200W×2550Hmm(不包含外挂操作屏)

电子货架 E-Rack

适用场景:用于存放Reticle并将信息上传

自动导引车 AGV

适用场景:用于搬运和抓取FOUP或Reticle

TC存储柜

适用场景:用于存储TC(石英细管)

石英存储柜

适用场景:用于存储Parts、石英管/舟

防爆柜

适用场景: 存储易燃、易爆、腐蚀、有毒等危险化学药品

氮气柜 N2 Box

适用场景: 提供充满N2密闭空间,存储相关部件

维修保养推车 PM Car

适用场景:设备维护时相关工具、零部件摆放、移动

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