EPI清洗机

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产品新闻

适用场景：用DIW、酸液等药液清洗各种半导体生产制程用零部件、治具
设备特点：
1、支持EAP、FDC、MES等功能
2、PLC+触摸屏控制方式，可预设多条Recipe
3、槽体最大尺寸L 800mm X D 800mm X H 800mm，材质SUS316/PVDF/PP可选
4、喷淋、超声、加热、鼓泡、溢流、吹干等多种工艺可选
5、通过PID控制加热温度
6、具有安全模式，能及时有效的保障人员及设备安全
7、多任务并行处理，有效的提高产能
8、工艺窗口开放，各工艺时间可自由设定
9、设备外形尺寸：L 2500mm X W 1300mm X H 2200mm (双槽)
10、本体材质PP/FM4910认证PVC

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EPI清洗机

卧式石英管舟清洗机（ Horizontal Quartz Tube/Boat Cleaner）

适用场景：用DIW、酸液等药液清洗8寸/12寸等多种尺寸的石英石英舟/石英管
设备特点：
1、机械手臂负载：≤50Kg (机械手臂最大负载：50 kg)
2、清洗对象：
　　炉管最大尺寸：ø 510mm X L 1520mm
　　石英舟最大尺寸：ø 345mm X L 1385mm
3、清洗能力：石英管/石英舟 1只/次/腔室
4、设备构成：由卧式酸槽、卧式水槽、机械臂（吊钩）等主要机构组成
5、设备安全：排酸权限分级、排酸弹窗确认、门锁Interlock、EMO等
6、酸槽主要功能：自动补液（液位传感器控制）、自动槽盖、药液循环过滤、炉管滚动、独立取样口
7、工艺过程全自动处理、可预设多条Recipe，操作简洁
8、选配SECS/GEM接口
9、配置Leak Sensor
10、设备外形尺寸：L 2830mm X W 2540mm X H 3400mm

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立式石英管舟清洗机（Vertical Quartz Tube/Boat Cleaner）

适用场景：用DIW、酸液等药液清洗8寸/12寸等多种尺寸的石英石英舟/石英管
设备特点：
1、清洗对象：
　　石英管及零部件（包括Boat、点火炮、热电偶等）
　　石英管（石英反应外管/夹层/进气管）最大尺寸：ø 510mm X L 1740mm
　　零部件最大尺寸：L 1200mm X W 550mm X H 350mm
2、清洗能力：石英管：1只/次/腔室或石英部件：1批/次/槽
3、设备构成：主要由炉管清洗腔（腔室由旋转平台、喷头）、卧式酸洗槽等机构组成
4、设备安全：排酸权限分级、排酸弹窗确认、门锁Interlock、EMO等
5、酸槽主要功能：自动补液（液位传感器控制、自动槽盖、药液循环过滤、独立取样口
6、工艺过程全自动处理、可预设多条Recipe,操作简洁
7、选配SECS/GEM接口
8、配置Leak Sensor
9、设备外形尺寸： L 2790mm X W 2220mm X H 2930mm

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EPI清洗机

EPI石英件清洗机（EPI Quartz Cleaner）

适用场景：用DIW、酸液等药液清洗EPI工艺专用石英件
设备特点：
1、机械手臂最大负载：20 kg
2、清洗对象：
　　不规则石英制品最大外形尺寸： 750mm X W 500mm X H 400mm
3、清洗能力：1篮/次
4、设备构成：机械臂、HN槽、HF槽、QDR槽等机构组成
5、设备安全：排酸权限分级、排酸弹窗确认、门锁Interlock、EMO等
6、酸槽主要功能：自动补液（液位传感器控制）、自动槽盖、药液循环过滤、独立取样口
7、工艺过程全自动处理、可预设多条Recipe，操作简洁
8、选配SECS/GEM接口
9、配置Leak Sensor
10、设备外形尺寸： L 2485mm X W 1700mm X H 3500mm

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EPI清洗机