产品中心
Product Center
产品中心
PRODUCTS CENTER
卧式石英管舟清洗机（ Horizontal Quartz Tube/Boat Cleaner）
适用场景：用DIW、酸液等药液清洗8寸/12寸等多种尺寸的石英石英舟/石英管
设备特点：
1、机械手臂负载：≤50Kg (机械手臂最大负载：50 kg)
2、清洗对象：
炉管最大尺寸：ø 510mm X L 1520mm
石英舟最大尺寸：ø 345mm X L 1385mm
3、清洗能力：石英管/石英舟 1只/次/腔室
4、设备构成：由卧式酸槽、卧式水槽、机械臂（吊钩）等主要机构组成
5、设备安全：排酸权限分级、排酸弹窗确认、门锁Interlock、EMO等
6、酸槽主要功能：自动补液（液位传感器控制）、自动槽盖、药液循环过滤、炉管滚动、独立取样口
7、工艺过程全自动处理、可预设多条Recipe，操作简洁
8、选配SECS/GEM接口
9、配置Leak Sensor
10、设备外形尺寸：L 2830mm X W 2540mm X H 3400mm
设备特点：
1、机械手臂负载：≤50Kg (机械手臂最大负载：50 kg)
2、清洗对象：
炉管最大尺寸：ø 510mm X L 1520mm
石英舟最大尺寸：ø 345mm X L 1385mm
3、清洗能力：石英管/石英舟 1只/次/腔室
4、设备构成：由卧式酸槽、卧式水槽、机械臂（吊钩）等主要机构组成
5、设备安全：排酸权限分级、排酸弹窗确认、门锁Interlock、EMO等
6、酸槽主要功能：自动补液（液位传感器控制）、自动槽盖、药液循环过滤、炉管滚动、独立取样口
7、工艺过程全自动处理、可预设多条Recipe，操作简洁
8、选配SECS/GEM接口
9、配置Leak Sensor
10、设备外形尺寸：L 2830mm X W 2540mm X H 3400mm
立式石英管舟清洗机（Vertical Quartz Tube/Boat Cleaner）
适用场景：用DIW、酸液等药液清洗8寸/12寸等多种尺寸的石英石英舟/石英管
设备特点：
1、清洗对象：
石英管及零部件（包括Boat、点火炮、热电偶等）
石英管（石英反应外管/夹层/进气管）最大尺寸：ø 510mm X L 1740mm
零部件最大尺寸：L 1200mm X W 550mm X H 350mm
2、清洗能力：石英管：1只/次/腔室 或 石英部件 ：1批/次/槽
3、设备构成：主要由炉管清洗腔（腔室由旋转平台、喷头）、卧式酸洗槽等机构组成
4、设备安全：排酸权限分级、排酸弹窗确认、门锁Interlock、EMO等
5、酸槽主要功能：自动补液（液位传感器控制、自动槽盖、药液循环过滤、独立取样口
6、工艺过程全自动处理、可预设多条Recipe,操作简洁
7、选配SECS/GEM接口
8、配置Leak Sensor
9、设备外形尺寸： L 2790mm X W 2220mm X H 2930mm
设备特点：
1、清洗对象：
石英管及零部件（包括Boat、点火炮、热电偶等）
石英管（石英反应外管/夹层/进气管）最大尺寸：ø 510mm X L 1740mm
零部件最大尺寸：L 1200mm X W 550mm X H 350mm
2、清洗能力：石英管：1只/次/腔室 或 石英部件 ：1批/次/槽
3、设备构成：主要由炉管清洗腔（腔室由旋转平台、喷头）、卧式酸洗槽等机构组成
4、设备安全：排酸权限分级、排酸弹窗确认、门锁Interlock、EMO等
5、酸槽主要功能：自动补液（液位传感器控制、自动槽盖、药液循环过滤、独立取样口
6、工艺过程全自动处理、可预设多条Recipe,操作简洁
7、选配SECS/GEM接口
8、配置Leak Sensor
9、设备外形尺寸： L 2790mm X W 2220mm X H 2930mm
适用场景：用于运输转移石英炉管
设备特点：
车体轻巧便于运输、运输数量可定制、设有石英管防护
设备特点：
车体轻巧便于运输、运输数量可定制、设有石英管防护
适用场景：电子 新能源 实验室 半导体行业等各行业无尘车间
设备特点：
●台面为不锈钢材质；可根据需求配置抽屉、锁等配件
设备特点：
●台面为不锈钢材质；可根据需求配置抽屉、锁等配件
适用场景：电子 新能源 实验室 半导体行业等各行业无尘车间
设备特点：
●整体为不锈钢材质，结实耐用不产尘
设备特点：
●整体为不锈钢材质，结实耐用不产尘
适用场景：用于搬运和抓取FOUP或Reticle
设备特点：
1、高精度定位，协作机器人内建视觉系统，结合协作机器人实现对物体的精准抓放，重复定位精度可达0.1mm
2、通过配套软件对厂区地图进行扫描，并结合点位规划、设计，无需具备专业知识即可快速完成地图的建立，实时扫描环境与内部地图进行比对来实现定位，优化路径选择
3、通过EM车队调度管理器来实现优化路径计算、优先派单、避障等技术，实现智能工厂的人流、物流、信息流有效协同，提升管理水平
4、通过车头的安全激光，能够自主进行避障，同时在车尾安装有声纳，能够检测后方障碍物体；并通过设定的安全距离、速度、加速度等相关参数，安全平稳的行驶
设备特点：
1、高精度定位，协作机器人内建视觉系统，结合协作机器人实现对物体的精准抓放，重复定位精度可达0.1mm
2、通过配套软件对厂区地图进行扫描，并结合点位规划、设计，无需具备专业知识即可快速完成地图的建立，实时扫描环境与内部地图进行比对来实现定位，优化路径选择
3、通过EM车队调度管理器来实现优化路径计算、优先派单、避障等技术，实现智能工厂的人流、物流、信息流有效协同，提升管理水平
4、通过车头的安全激光，能够自主进行避障，同时在车尾安装有声纳，能够检测后方障碍物体；并通过设定的安全距离、速度、加速度等相关参数，安全平稳的行驶
总部
北京分公司
地址：北京经济技术开发区科创十四街20号院嘉捷号BDA企业汇12号楼3层306室
关注我们
扫描关注公众号