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IP07:一种清洗机视窗自清洁装置2021220915418-1
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IP06:一种用于提高水平放置长方形片子清洗效率的工装结构-1
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IP05:一种12寸晶圆片前开式传送盒开闭系统
IP04:一种用于晶圆FOUP自动装载机Loadport的万向可调密封装置-1
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IP03:一种用于清洗机的花篮检测装置