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IP09：一种用于提高晶圆清洗效果的旋转结构-1
IP09：一种用于提高晶圆清洗效果的旋转结构
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专利发明
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地址：北京经济技术开发区科创十四街20号院嘉捷号BDA企业汇12号楼3层306室
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