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一种卧式石英舟清洗设备

零部件声波清洗机（ Parts Cleaner）

适用场景：用DIW、酸液等药液清洗各种半导体生产制程用零部件、治具
设备特点：
1、支持EAP、FDC、MES等功能
2、PLC+触摸屏控制方式，可预设多条Recipe
3、槽体最大尺寸L 800mm X D 800mm X H 800mm，材质SUS316/PVDF/PP可选
4、喷淋、超声、加热、鼓泡、溢流、吹干等多种工艺可选
5、通过PID控制加热温度
6、具有安全模式，能及时有效的保障人员及设备安全
7、多任务并行处理，有效的提高产能
8、工艺窗口开放，各工艺时间可自由设定
9、设备外形尺寸：L 2500mm X W 1300mm X H 2200mm (双槽)
10、本体材质PP/FM4910认证PVC

热电偶存储柜（TC Stocker）

适用场景：用于存储TC（石英细管）
设备特点：
1、分层设计，TC存储数量多
2、TC接触处有防磕碰保护
3、门上安装密码锁，安全有保障

石英管/石英舟存储柜（Quartz Tube/Boat Stocker）

适用场景：用于存储Parts、石英管/舟
设备特点：
1、具备FFU系统，提供Class 100以上洁净环境
2、具备照明功能
3、可根据客户需求定制旋转/非旋转形态
4、可根据客户需求定制不同储放数量
5、石英接触处有防磕碰保护

氮气柜（N2 Box）

适用场景：提供充满N2密闭空间，存储相关部件
设备特点：
1、N2流量、压力可调
2、可根据不同需求非标定制
3、承载能力强

设备维护工具小车（PM Car）

适用场景：设备维护时相关工具、零部件摆放、移动
设备特点：
1、顶部有作业台面，底部有工具零部件存储柜；
2、推车顶部承重较大；
3、本体下部装有四只万向脚轮，带刹车，带减震；
4、主体采用优质不锈钢

电子货架（E-Rack）

适用场景：用于存放Reticle并将信息上传
设备特点：
1、LED Display，显示操作成功与否，及每个Reticle的详细信息；
2、RFID Reader，判断存储位是否被占用并读取Reticle信息；
3、XCDA Purge，每个存放Reticle位置上部都配有XCDA Purge吹扫口，每个Reticle位置气体流量30NL/min（0.3MPa时），每层通过流量开关实现2~200L/Min流量调节并配手阀开关，可控制吹扫频率，配置XCDA低压报警装置。
4、E-Rack实时读取Reticle上的RFIDtag，将RFID资料通过网口传送到MES系统上进行统一管理，可实时查看E-Rack上Reticle存储情况

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