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一种卧式石英舟清洗设备

一种卧式石英舟清洗设备

零部件声波清洗机( Parts Cleaner)

适用场景:用DIW、酸液等药液清洗各种半导体生产制程用零部件、治具
设备特点:
1、支持EAP、FDC、MES等功能
2、PLC+触摸屏控制方式,可预设多条Recipe
3、槽体最大尺寸L 800mm X D 800mm X H 800mm,材质SUS316/PVDF/PP可选
4、喷淋、超声、加热、鼓泡、溢流、吹干等多种工艺可选
5、通过PID控制加热温度
6、具有安全模式,能及时有效的保障人员及设备安全
7、多任务并行处理,有效的提高产能
8、工艺窗口开放,各工艺时间可自由设定
9、设备外形尺寸:L 2500mm X W 1300mm X H 2200mm (双槽)
10、本体材质PP/FM4910认证PVC

热电偶存储柜(TC Stocker)

适用场景:用于存储TC(石英细管)
设备特点:
1、分层设计,TC存储数量多
2、TC接触处有防磕碰保护
3、门上安装密码锁,安全有保障

石英管/石英舟存储柜(Quartz Tube/Boat Stocker)

适用场景:用于存储Parts、石英管/舟
设备特点:
1、具备FFU系统,提供Class 100以上洁净环境
2、具备照明功能
3、可根据客户需求定制旋转/非旋转形态
4、可根据客户需求定制不同储放数量
5、石英接触处有防磕碰保护

氮气柜(N2 Box)

适用场景:提供充满N2密闭空间,存储相关部件
设备特点:
1、N2流量、压力可调
2、可根据不同需求非标定制
3、承载能力强

设备维护工具小车(PM Car)

适用场景:设备维护时相关工具、零部件摆放、移动
设备特点:
1、顶部有作业台面,底部有工具零部件存储柜;
2、推车顶部承重较大;
3、本体下部装有四只万向脚轮,带刹车,带减震;
4、主体采用优质不锈钢

电子货架(E-Rack)

适用场景:用于存放Reticle并将信息上传
设备特点:
1、LED Display,显示操作成功与否,及每个Reticle的详细信息;
2、RFID Reader,判断存储位是否被占用并读取Reticle信息;
3、XCDA Purge,每个存放Reticle位置上部都配有XCDA Purge吹扫口,每个Reticle位置气体流量30NL/min(0.3MPa时),每层通过流量开关实现2~200L/Min流量调节并配手阀开关,可控制吹扫频率,配置XCDA低压报警装置。
4、E-Rack实时读取Reticle上的RFIDtag,将RFID资料通过网口传送到MES系统上进行统一管理,可实时查看E-Rack上Reticle存储情况

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