8寸及8寸以下全自动槽式湿法工艺制程设备(Fully Automated Wet Bench Process Equipment

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8寸及8寸以下全自动槽式湿法工艺制程设备(Fully Automated Wet Bench Process Equipment For 8-inch and below)


适用场景:8寸及8寸以下酸碱刻蚀、外延片清洗、去胶清洗、Pre-metal、最终清洗等
设备特点:
1、设备实现自动作业,自动过程控制工艺、干燥作业的湿法工艺解决方案
2、设备可依据客户工艺需求设计对应模块
3、可根据客户产值要求制定单篮/双篮每批
4、可支持多批次清洗提升产量
5、化学槽支持自动换液、补液及定时/定量补液,自动洗槽功能
6、可根据不同厂务要求制定不同种类的排放方案
7、良好的设备稳定性和可靠性;
8、有效控制金属、材料及微粒子的交叉污染;
9、软件和硬件的模块化设计;
10、软硬件预留MES通讯接口;
11、实时记录生产数据,多种数据分析功能;
12、选配SECS/GEM接口;
13、可实现工件数据追溯,具有过点信息、状态监控、故障汇总、订单下发等功能