半自动晶圆盒/晶舟盒清洗机(Semi-auto FOUP/Cassette/POD Cleaner)

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全自动晶圆盒清洗机(Fully Automated FOUP Cleaner)


适用场景:用DIW/有机溶剂(可选)实现FOUP清洁,通过高速旋转/红外灯管/CDA等多种技术实现FOUP干燥
设备特点:
1、清洗对象:6/8/12 半自动FOUP/Cassette/POD
2、设备主要构成:旋转鼠笼(便捷式可180°旋转后固定结构)、DIW喷淋系统、红外加热干燥系统、有机溶剂清洗系统(可选)等机构组成
3、清洗能力:8只FOUP/小时(依配置的清洗腔真空腔数量而定)
4、干进干出
5、人工分离FOUP、POD,人工上下料及更换工装
6、旋转式离心清洗,可正反调速旋转,对于产品表面的附着残留物容易清除
7、工装设有防呆机构,防止人工将清洗件放置错误
8、鼠笼设有旋转到位防呆检测
9、动平衡侦测转篮未定位保护,降低因人为导致设备损坏
10、主轴以伺服马达控制达到稳定加减速及转速数值化设定控制,主轴震动值可监测
11、可预设多条Recipe,操作简洁;
12、选配SECS/GEM接口;
13、可实现工件数据追溯,具有过点信息、状态监控、故障汇总、订单下发等功能
14、设备外形尺寸:L 2430mm X W 1430mm X H 2460mm