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立式石英管舟清洗机(Vertical Quartz Tube/Boat Cleaner)

适用场景:用DIW、酸液等药液清洗8寸/12寸等多种尺寸的石英石英舟/石英管
设备特点:
1、清洗对象:
  石英管及零部件(包括Boat、点火炮、热电偶等)
  石英管(石英反应外管/夹层/进气管)最大尺寸:ø 510mm X L 1740mm
  零部件最大尺寸:L 1200mm X W 550mm X H 350mm
2、清洗能力:石英管:1只/次/腔室 或 石英部件 :1批/次/槽
3、设备构成:主要由炉管清洗腔(腔室由旋转平台、喷头)、卧式酸洗槽等机构组成
4、设备安全:排酸权限分级、排酸弹窗确认、门锁Interlock、EMO等
5、酸槽主要功能:自动补液(液位传感器控制、自动槽盖、药液循环过滤、独立取样口
6、工艺过程全自动处理、可预设多条Recipe,操作简洁
7、选配SECS/GEM接口
8、配置Leak Sensor
9、设备外形尺寸: L 2790mm X W 2220mm X H 2930mm

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