产品中心
E-Rack ：电子货架
型号：WNBP-1-001
本体布局：共五层，每层可放置5个Reticle，合计25个储位，每个Reticle对角有定位装置，斜顶设计，降低粒子积尘
1.LED Display，显示操作成功与否，及每个Reticle的详细信息；
2.RFID Reader，判断存储位是否被占用并读取Reticle信息；
3.XCDA Purge，每个存放Reticle位置上部都配有XCDA Purge吹扫口，每个Reticle位置气体流量30NL/min（0.4MPa时），每层通过流量开关实现2~200L/Min流量调节并配手阀开关，可控制吹扫频率，配置XCDA低压报警装置。
本体布局：共五层，每层可放置5个Reticle，合计25个储位，每个Reticle对角有定位装置，斜顶设计，降低粒子积尘
1.LED Display，显示操作成功与否，及每个Reticle的详细信息；
2.RFID Reader，判断存储位是否被占用并读取Reticle信息；
3.XCDA Purge，每个存放Reticle位置上部都配有XCDA Purge吹扫口，每个Reticle位置气体流量30NL/min（0.4MPa时），每层通过流量开关实现2~200L/Min流量调节并配手阀开关，可控制吹扫频率，配置XCDA低压报警装置。
Load Port
型号：WNBP-1-003
目标客户：主要用于半导体晶圆搬运和传输等装置，如EFEM、倒片机等
1.FOUP内晶圆片检测，可检测出叠片，斜插跨片等；
2.可加增FOUP内高纯氮气进排吹扫，即N2 Purge功能；
3.可选RFID读取器和Mapping sensor；
4.可加增Optical I/O（符合E84标准);
5.Modbus TCP/IP通讯方式.
目标客户：主要用于半导体晶圆搬运和传输等装置，如EFEM、倒片机等
1.FOUP内晶圆片检测，可检测出叠片，斜插跨片等；
2.可加增FOUP内高纯氮气进排吹扫，即N2 Purge功能；
3.可选RFID读取器和Mapping sensor；
4.可加增Optical I/O（符合E84标准);
5.Modbus TCP/IP通讯方式.
AIV/AGV ：自动搬运小车
目标客户：汽车、电子产品、食品和消费产品、医疗
1.高精度定位，协作机器人内建视觉系统，具有强大视觉定位功能，使用Land Mark能精准对物体进行抓放；
2.可安全的与人协同工作；
3.对环境及工作流程的改变有良好的适应性；
4.实时扫描环境与内部地图进行比对来实现定位，优化路径选择；
5.可在电脑上进行直观设置；
6.可自定义自动搬运设备 （如传送带等）；
7.一个车队调度控制器可协调多台设备；
1.高精度定位，协作机器人内建视觉系统，具有强大视觉定位功能，使用Land Mark能精准对物体进行抓放；
2.可安全的与人协同工作；
3.对环境及工作流程的改变有良好的适应性；
4.实时扫描环境与内部地图进行比对来实现定位，优化路径选择；
5.可在电脑上进行直观设置；
6.可自定义自动搬运设备 （如传送带等）；
7.一个车队调度控制器可协调多台设备；
立/卧式管舟清洗设备（Tube clean）
型号：WTCA300—H—002系列
目标客户：硅片厂 硅材料研究院所
1.工艺过程全自动处理；
2.可预设多条Recipe，操作简洁；
3.自动补、配液；
4.选配SECS/GEM接口；
5.根据工艺需求、模块化，配置Leak Sensor。
目标客户：硅片厂 硅材料研究院所
1.工艺过程全自动处理；
2.可预设多条Recipe，操作简洁；
3.自动补、配液；
4.选配SECS/GEM接口；
5.根据工艺需求、模块化，配置Leak Sensor。
硅粉清洗设备
型号：WVCA100/150—P—001
目标客户：各种材料厂及化合物片厂、研究所院
1.工艺过程全自动处理
2.可预设多条Recipe,操作简洁
3.选配SECS/GEM接口
4.根据工艺需求，模块化，配置Leak Sensor
5.兼容多种硅料棒、硅块及不规则碎料
目标客户：各种材料厂及化合物片厂、研究所院
1.工艺过程全自动处理
2.可预设多条Recipe,操作简洁
3.选配SECS/GEM接口
4.根据工艺需求，模块化，配置Leak Sensor
5.兼容多种硅料棒、硅块及不规则碎料
硅片、磨片清洗设备
型号：WVCA100/150—P—001
目标客户：各种材料厂及化合物片厂、研究所院
1.工艺过程全自动处理
2.可预设多条Recipe,操作简洁
3.选配SECS/GEM接口
4.根据工艺需求，模块化，配置Leak Sensor
5.兼容多种硅料棒、硅块及不规则碎料
目标客户：各种材料厂及化合物片厂、研究所院
1.工艺过程全自动处理
2.可预设多条Recipe,操作简洁
3.选配SECS/GEM接口
4.根据工艺需求，模块化，配置Leak Sensor
5.兼容多种硅料棒、硅块及不规则碎料
防爆柜
防爆柜 型号：WNBP—2—003
1.用于存放易爆化学品，可燃性危化品，易燃性危化品，有毒危化品，腐蚀性危化品
2.防火柜产品取得出口欧盟的CE强制认证，按美国专业防火标准FM6050，获取权威FM认证取得OSHA 29 CFR 1910.106及NFPA CODE 30符合性证明，同时符合《危险化学品安全管理条例》等规范要求
3.优质三点联动式门锁
4.内置经典接地传导端口，减少静电
1.用于存放易爆化学品，可燃性危化品，易燃性危化品，有毒危化品，腐蚀性危化品
2.防火柜产品取得出口欧盟的CE强制认证，按美国专业防火标准FM6050，获取权威FM认证取得OSHA 29 CFR 1910.106及NFPA CODE 30符合性证明，同时符合《危险化学品安全管理条例》等规范要求
3.优质三点联动式门锁
4.内置经典接地传导端口，减少静电
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