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6寸槽式全自动清洗设备
○ 可以提供完整的湿法工艺解决方案
○ 设备依据客户需求量身定做
○ 良好的设备稳定性和可靠性
○ 有效控制金属、材料及微粒子的交叉污染
○ 软件和硬件的模块化设计
○ 选配SECS/GEM接口
○ 支持厂务MES自动化控制系统
○ 设备依据客户需求量身定做
○ 良好的设备稳定性和可靠性
○ 有效控制金属、材料及微粒子的交叉污染
○ 软件和硬件的模块化设计
○ 选配SECS/GEM接口
○ 支持厂务MES自动化控制系统
FOUP Buffer
FOUP Buffer (ASF300)
Load port
○ Load Port被安装在EFEM前，用来作为wafer进出EFEM的窗口；
○ 用于工具自动化的智能且灵活的工厂接口模块；
○ 支持卓越的可靠性和超净性能；
○ 最大程度地实现交互操作性，无缝互换性和易于配置；
○ 与所有手动或通过AMHS车辆交付的符合SEMI要求的FOUP和自动前开式装运箱（FOSB）兼容；
○ 在搬运过程中用来保持wafer的洁净度。
○ 用于工具自动化的智能且灵活的工厂接口模块；
○ 支持卓越的可靠性和超净性能；
○ 最大程度地实现交互操作性，无缝互换性和易于配置；
○ 与所有手动或通过AMHS车辆交付的符合SEMI要求的FOUP和自动前开式装运箱（FOSB）兼容；
○ 在搬运过程中用来保持wafer的洁净度。
8寸槽式全自动清洗设备
○ 可以提供完整的湿法工艺解决方案
○ 设备依据客户需求量身定做
○ 良好的设备稳定性和可靠性
○ 有效控制金属、材料及微粒子的交叉污染
○ 软件和硬件的模块化设计
○ 支持SMIF自动传输
○ 软件支持GEM/SECSII 接口，提供EAP功能
○ 实时记录生产数据，多种数据分析功能
○ 设备依据客户需求量身定做
○ 良好的设备稳定性和可靠性
○ 有效控制金属、材料及微粒子的交叉污染
○ 软件和硬件的模块化设计
○ 支持SMIF自动传输
○ 软件支持GEM/SECSII 接口，提供EAP功能
○ 实时记录生产数据，多种数据分析功能
Tube/Boat Clean（立式/卧式）
○ 支持EAP,FDC,MES等功能；
○ PLC触摸屏控制方式；
○ 可预设多条Recipe;
○ 自动补、配液；
○ 软件多重安全互锁；
○ 多任务并行处理，有效的提高产能；
○ 工艺窗口开放，各工艺时间可自由设定。
○ PLC触摸屏控制方式；
○ 可预设多条Recipe;
○ 自动补、配液；
○ 软件多重安全互锁；
○ 多任务并行处理，有效的提高产能；
○ 工艺窗口开放，各工艺时间可自由设定。
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