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E-Rack ：电子货架
型号：WNBP-1-001
本体布局：共五层，每层可放置5个Reticle，合计25个储位，每个Reticle对角有定位装置，斜顶设计，降低粒子积尘
1.LED Display，显示操作成功与否，及每个Reticle的详细信息；
2.RFID Reader，判断存储位是否被占用并读取Reticle信息；
3.XCDA Purge，每个存放Reticle位置上部都配有XCDA Purge吹扫口，每个Reticle位置气体流量30NL/min（0.4MPa时），每层通过流量开关实现2~200L/Min流量调节并配手阀开关，可控制吹扫频率，配置XCDA低压报警装置。
本体布局：共五层，每层可放置5个Reticle，合计25个储位，每个Reticle对角有定位装置，斜顶设计，降低粒子积尘
1.LED Display，显示操作成功与否，及每个Reticle的详细信息；
2.RFID Reader，判断存储位是否被占用并读取Reticle信息；
3.XCDA Purge，每个存放Reticle位置上部都配有XCDA Purge吹扫口，每个Reticle位置气体流量30NL/min（0.4MPa时），每层通过流量开关实现2~200L/Min流量调节并配手阀开关，可控制吹扫频率，配置XCDA低压报警装置。
关键词：
E-Rack ：电子货架
所属分类：
全自动晶圆搬运系统
产品附件：
咨询热线：
E-Rack ：电子货架
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