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E-Rack :电子货架

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E-Rack :电子货架

型号:WNBP-1-001
本体布局:共五层,每层可放置5个Reticle,合计25个储位,每个Reticle对角有定位装置,斜顶设计,降低粒子积尘
1.LED Display,显示操作成功与否,及每个Reticle的详细信息;
2.RFID Reader,判断存储位是否被占用并读取Reticle信息;
3.XCDA Purge,每个存放Reticle位置上部都配有XCDA Purge吹扫口,每个Reticle位置气体流量30NL/min(0.4MPa时),每层通过流量开关实现2~200L/Min流量调节并配手阀开关,可控制吹扫频率,配置XCDA低压报警装置。
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