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立/卧式管舟清洗设备（Tube clean）
目标客户：硅片厂 硅材料研究院所
1.工艺过程全自动处理；
2.可预设多条Recipe，操作简洁；
3.自动补、配液；
4.选配SECS/GEM接口；
5.根据工艺需求、模块化，配置Leak Sensor。
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