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硅片、磨片清洗设备

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硅片、磨片清洗设备

型号:WVCA100/150—P—001
目标客户:各种材料厂及化合物片厂、研究所院
1.工艺过程全自动处理
2.可预设多条Recipe,操作简洁
3.选配SECS/GEM接口
4.根据工艺需求,模块化,配置Leak Sensor
5.兼容多种硅料棒、硅块及不规则碎料
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