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氮气柜
1.用于存储Watfer、Parts、石英管/舟
2.具备FFU系统，提供Class1000以上洁净环境
3.具备PTC加热器系统，柜内温度RT~50℃可设定
4.具备N2 Purge功能，营造柜内干燥低氧环境
5.PLC+触摸屏控制方式，预设多种Recipe
6.参数设定，过程监控，操作简洁
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地址：河北省香河机器人产业港1期E2栋
邮编：065400
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