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氮气柜
氮气柜（N2 Box）型号：WNBP—2—002
1.用于存储Watfer、Parts、石英管/舟
2.具备FFU系统，提供Class1000以上洁净环境
3.具备PTC加热器系统，柜内温度RT~50℃可设定
4.具备N2 Purge功能，营造柜内干燥低氧环境
5.PLC+触摸屏控制方式，预设多种Recipe
6.参数设定，过程监控，操作简洁
1.用于存储Watfer、Parts、石英管/舟
2.具备FFU系统，提供Class1000以上洁净环境
3.具备PTC加热器系统，柜内温度RT~50℃可设定
4.具备N2 Purge功能，营造柜内干燥低氧环境
5.PLC+触摸屏控制方式，预设多种Recipe
6.参数设定，过程监控，操作简洁
关键词：
氮气柜
所属分类：
厂务配套附属设备
产品附件：
咨询热线：
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