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氮气柜
氮气柜(N2 Box)型号:WNBP—2—002
1.用于存储Watfer、Parts、石英管/舟
2.具备FFU系统,提供Class1000以上洁净环境
3.具备PTC加热器系统,柜内温度RT~50℃可设定
4.具备N2 Purge功能,营造柜内干燥低氧环境
5.PLC+触摸屏控制方式,预设多种Recipe
6.参数设定,过程监控,操作简洁
1.用于存储Watfer、Parts、石英管/舟
2.具备FFU系统,提供Class1000以上洁净环境
3.具备PTC加热器系统,柜内温度RT~50℃可设定
4.具备N2 Purge功能,营造柜内干燥低氧环境
5.PLC+触摸屏控制方式,预设多种Recipe
6.参数设定,过程监控,操作简洁
关键词:
氮气柜
所属分类:
厂务配套附属设备
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