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Hard bake oven
目标客户：Fab
1.适用于4—8寸晶圆的高温烘烤；Parts烘干
2.最低含氧量可<10ppm
3.可满足Class 100以上洁净度要求
4.温度范围：RT（室温）+20~500℃
5.最大烤箱尺寸可容纳：12个8寸Cassette
6.降温方式：风冷、水冷
7.PLC+IPC控制，可预设多条Recipe，实现梯度升温和降温
8.支持EAP、FDC、MES等功能
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