暂无数据
Hard bake oven
型号：WNBP—2—001
目标客户：Fab
1.适用于4—8寸晶圆的高温烘烤；Parts烘干
2.最低含氧量可<10ppm
3.可满足Class 100以上洁净度要求
4.温度范围：RT（室温）+20~500℃
5.最大烤箱尺寸可容纳：12个8寸Cassette
6.降温方式：风冷、水冷
7.PLC+IPC控制，可预设多条Recipe，实现梯度升温和降温
8.支持EAP、FDC、MES等功能
目标客户：Fab
1.适用于4—8寸晶圆的高温烘烤；Parts烘干
2.最低含氧量可<10ppm
3.可满足Class 100以上洁净度要求
4.温度范围：RT（室温）+20~500℃
5.最大烤箱尺寸可容纳：12个8寸Cassette
6.降温方式：风冷、水冷
7.PLC+IPC控制，可预设多条Recipe，实现梯度升温和降温
8.支持EAP、FDC、MES等功能
关键词：
Hard bake oven
所属分类：
厂务配套附属设备
产品附件：
咨询热线：
Hard bake oven
下一页
下一页
相关产品
暂无数据
产品询价
总部
北京分公司
地址：北京经济技术开发区科创十四街20号院嘉捷号BDA企业汇12号楼3层306室
关注我们
扫描关注公众号