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全自动晶圆搬运系统
以 AHMS Control 为软件控制平台，AIV/AGV为搬运设备，Load Port 和 E—Rack为对接口与存放点
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全自动晶圆搬运系统
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系统简介：以 AHMS Control 为软件控制平台，AIV/AGV为搬运设备，Load Port 和 E—Rack为对接口与存放点
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