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全自动晶舟清洗设备(Foup Cleaner)

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全自动晶舟清洗设备(Foup Cleaner)

型号:WVCM200—P—002
(Cassette Foup 兼容清洗功能,手动拆解干进干出)
目标客户:FAB 外延厂
1.支持EAP、FDC、MES等功能;
2.PLC+触摸屏控制方式,可预设多条Recipe;
3.IR石英加热系统;
4.软件多重互锁,Cassette防呆设计;
5.多任务并行处理,有效提高产能;
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