暂无数据
全自动晶舟清洗设备（Foup Cleaner）
型号：WVCM200—P—002
（Cassette Foup 兼容清洗功能，手动拆解干进干出）
目标客户：FAB 外延厂
1.支持EAP、FDC、MES等功能；
2.PLC+触摸屏控制方式，可预设多条Recipe；
3.IR石英加热系统；
4.软件多重互锁，Cassette防呆设计；
5.多任务并行处理，有效提高产能；
（Cassette Foup 兼容清洗功能，手动拆解干进干出）
目标客户：FAB 外延厂
1.支持EAP、FDC、MES等功能；
2.PLC+触摸屏控制方式，可预设多条Recipe；
3.IR石英加热系统；
4.软件多重互锁，Cassette防呆设计；
5.多任务并行处理，有效提高产能；
关键词：
全自动晶舟清洗设备（Foup Cleaner）
所属分类：
附属湿法清洗设备
产品附件：
咨询热线：
全自动晶舟清洗设备（Foup Cleaner）
下一页
下一页
相关产品
暂无数据
产品询价
总部
北京分公司
地址：北京经济技术开发区科创十四街20号院嘉捷号BDA企业汇12号楼3层306室
关注我们
扫描关注公众号