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全自动晶舟清洗设备（Foup Cleaner）
（Cassette Foup 兼容清洗功能，手动拆解干进干出）
目标客户：FAB 外延厂
1.支持EAP、FDC、MES等功能；
2.PLC+触摸屏控制方式，可预设多条Recipe；
3.IR石英加热系统；
4.软件多重互锁，Cassette防呆设计；
5.多任务并行处理，有效提高产能；
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