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立/卧式管舟清洗设备(Tube clean)
型号:WTCA300—H—001
目标客户:硅片厂 硅材料研究院所
1.工艺过程全自动处理;
2.可预设多条Recipe,操作简洁;
3.自动补、配液;
4.选配SECS/GEM接口;
5.根据工艺需求、模块化,配置Leak Sensor。
目标客户:硅片厂 硅材料研究院所
1.工艺过程全自动处理;
2.可预设多条Recipe,操作简洁;
3.自动补、配液;
4.选配SECS/GEM接口;
5.根据工艺需求、模块化,配置Leak Sensor。
关键词:
立/卧式管舟清洗设备(Tube clean)
所属分类:
附属湿法清洗设备
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