Parts clean：为半导体先进制程FAB专用，清洗洁净度要求微米级和颗粒数量
应用场景：应用于PVD、CVD等设备零部件清洗，厂务设备零部件清洗等
型号：WVCM—200—P系列
目标客户：FAB   清洗厂    外延厂
1.支持EAP、FDC、MES等功能；
2.PLC+触摸屏控制方式，可预设多条Recipe 自动补、配液；
3.多任务并行处理，有效的提高产能；
4.工艺窗口开放，各工艺时间可自由设定。