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零部件声波清洗声波清洗设备（Parts clean）
Parts clean：为半导体先进制程FAB专用，清洗洁净度要求微米级和颗粒数量
应用场景：应用于PVD、CVD等设备零部件清洗，厂务设备零部件清洗等
型号：WVCM—200—P系列
目标客户：FAB 清洗厂 外延厂
1.支持EAP、FDC、MES等功能；
2.PLC+触摸屏控制方式，可预设多条Recipe 自动补、配液；
3.多任务并行处理，有效的提高产能；
4.工艺窗口开放，各工艺时间可自由设定。
应用场景：应用于PVD、CVD等设备零部件清洗，厂务设备零部件清洗等
型号：WVCM—200—P系列
目标客户：FAB 清洗厂 外延厂
1.支持EAP、FDC、MES等功能；
2.PLC+触摸屏控制方式，可预设多条Recipe 自动补、配液；
3.多任务并行处理，有效的提高产能；
4.工艺窗口开放，各工艺时间可自由设定。
关键词：
零部件声波清洗声波清洗设备（Parts clean）
所属分类：
附属湿法清洗设备
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零部件声波清洗声波清洗设备（Parts clean）
Parts clean：为半导体先进制程FAB专用，清洗洁净度要求微米级和颗粒数量
应用场景：应用于PVD、CVD等设备零部件清洗，厂务设备零部件清洗等
型号：WVCM—200—P系列
目标客户：FAB 清洗厂 外延厂
- 支持EAP、FDC、MES等功能
- PLC+触摸屏控制方式，可预设多条Recipe
- 自动补、配液
- 多任务并行处理，有效的提高产能
- 工艺窗口开放，各工艺时间可自由设定
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