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零部件声波清洗声波清洗设备(Parts clean)
应用场景:应用于PVD、CVD等设备零部件清洗,厂务设备零部件清洗等
型号:WVCM—200—P系列
目标客户:FAB 清洗厂 外延厂
1.支持EAP、FDC、MES等功能;
2.PLC+触摸屏控制方式,可预设多条Recipe 自动补、配液;
3.多任务并行处理,有效的提高产能;
4.工艺窗口开放,各工艺时间可自由设定。
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参数
Parts clean:为半导体先进制程FAB专用,清洗洁净度要求微米级和颗粒数量
应用场景:应用于PVD、CVD等设备零部件清洗,厂务设备零部件清洗等
型号:WVCM—200—P系列
目标客户:FAB 清洗厂 外延厂
- 支持EAP、FDC、MES等功能
- PLC+触摸屏控制方式,可预设多条Recipe
- 自动补、配液
- 多任务并行处理,有效的提高产能
- 工艺窗口开放,各工艺时间可自由设定
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