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外延厂专用钟罩清洗
型号:WVCA100/150—P—001
目标客户:各种材料厂及化合物片厂、研究所院
1.工艺过程全自动处理;
2.可预设多条Recipe,操作简洁;
3.选配SECS/GEM接口;
4.根据工艺需求,模块化,配置Leak Sensor;
5.兼容多种硅料棒、硅块及不规则碎料。
目标客户:各种材料厂及化合物片厂、研究所院
1.工艺过程全自动处理;
2.可预设多条Recipe,操作简洁;
3.选配SECS/GEM接口;
4.根据工艺需求,模块化,配置Leak Sensor;
5.兼容多种硅料棒、硅块及不规则碎料。
关键词:
外延厂专用钟罩清洗
所属分类:
材料厂用湿法设备
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外延厂专用钟罩清洗
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