暂无数据
外延厂专用钟罩清洗
型号：WVCA100/150—P—001
目标客户：各种材料厂及化合物片厂、研究所院
1.工艺过程全自动处理；
2.可预设多条Recipe,操作简洁；
3.选配SECS/GEM接口；
4.根据工艺需求，模块化，配置Leak Sensor；
5.兼容多种硅料棒、硅块及不规则碎料。
目标客户：各种材料厂及化合物片厂、研究所院
1.工艺过程全自动处理；
2.可预设多条Recipe,操作简洁；
3.选配SECS/GEM接口；
4.根据工艺需求，模块化，配置Leak Sensor；
5.兼容多种硅料棒、硅块及不规则碎料。
关键词：
外延厂专用钟罩清洗
所属分类：
材料厂用湿法设备
产品附件：
咨询热线：
外延厂专用钟罩清洗
相关产品
暂无数据
产品询价
总部
北京分公司
地址：北京经济技术开发区科创十四街20号院嘉捷号BDA企业汇12号楼3层306室
关注我们
扫描关注公众号