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硅块、硅棒清洗设备
型号：WVCA100/150—P—001
目标客户：各种材料厂及化合物片厂、研究所院
1.工艺过程全自动处理；
2.可预设多条Recipe,操作简洁；
3.选配SECS/GEM接口；
4.根据工艺需求，模块化，配置Leak Sensor；
5.兼容多种硅料棒、硅块及不规则碎料。
目标客户：各种材料厂及化合物片厂、研究所院
1.工艺过程全自动处理；
2.可预设多条Recipe,操作简洁；
3.选配SECS/GEM接口；
4.根据工艺需求，模块化，配置Leak Sensor；
5.兼容多种硅料棒、硅块及不规则碎料。
关键词：
硅块、硅棒清洗设备
所属分类：
材料厂用湿法设备
产品附件：
咨询热线：
硅块、硅棒清洗设备
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