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厂务及设备端CDS(化学液供应系统)
目标客户:厂务,及各种化学品供应系统
Chemical Distribution System:
1.用于半导体制程中湿法工艺涉及的高纯化学药液的自动供给;
2.可灵活实现化学药液的多点供应;
3.可配置多桶,自动切换,实现不间断工作;
4.可配置双泵,一用一备,提高设备可靠性。
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