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6寸槽式全自动清洗设备
目标客户：硅片厂、化合物工厂、研究院所、FAB
1.设备实现自动作业，自动过程控制工艺、干燥作业的湿法工艺解决方案；
2.具备热N2干燥、Spin Dry选择;
3.有效控制金属、材料及微粒子的交叉污染。
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