型号：WVA200—P系列
目标客户：化合物厂、硅片厂、FAB
工艺应用：
OXIDE  Reclain、RCA、Pre—Diffusion、Pre—Metal
设备特点：
1.实现Cassetteless清洗；
2.具备热N2干燥、Spin Dry以及IPA Dry 选择；
3.良好的设备稳定性和可靠性；
4.有效控制金属、材料及微粒子的交叉污染。