材料厂用湿法设备_产品中心_安徽万维克林精密设备有限公司

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材料厂用湿法设备

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硅粉清洗设备

型号：WVCA100/150—P—001
目标客户：各种材料厂及化合物片厂、研究所院
1.工艺过程全自动处理
2.可预设多条Recipe,操作简洁
3.选配SECS/GEM接口
4.根据工艺需求，模块化，配置Leak Sensor
5.兼容多种硅料棒、硅块及不规则碎料

Details

硅片、磨片清洗设备

型号：WVCA100/150—P—001
目标客户：各种材料厂及化合物片厂、研究所院
1.工艺过程全自动处理
2.可预设多条Recipe,操作简洁
3.选配SECS/GEM接口
4.根据工艺需求，模块化，配置Leak Sensor
5.兼容多种硅料棒、硅块及不规则碎料

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外延厂专用钟罩清洗

型号：WVCA100/150—P—001
目标客户：各种材料厂及化合物片厂、研究所院
1.工艺过程全自动处理；
2.可预设多条Recipe,操作简洁；
3.选配SECS/GEM接口；
4.根据工艺需求，模块化，配置Leak Sensor；
5.兼容多种硅料棒、硅块及不规则碎料。

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硅块、硅棒清洗设备

型号：WVCA100/150—P—001
目标客户：各种材料厂及化合物片厂、研究所院
1.工艺过程全自动处理；
2.可预设多条Recipe,操作简洁；
3.选配SECS/GEM接口；
4.根据工艺需求，模块化，配置Leak Sensor；
5.兼容多种硅料棒、硅块及不规则碎料。

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地址：安徽合肥市经济开发区新桥集成电路科技产业园A座

电话：0551-68661089

网站：www.oneweklin.com

邮箱：wwkl@oneweklin.com

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