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SMIF


ASL200用于与工艺设备的装载端口传送,可轻松地将SMIF-Pod的装卸集成到各种200 mm和150 mm晶圆处理装载工具。 ASL200专为需要真空加载锁定工具的自适应和设备制造商应用而设计,是一种多种晶圆厂工具提供SMIF功能,并在缩短周期时间和减小占位面积,晶圆监测和重新定位功能等的特点。

关键词:

SMIF

所属分类:

工艺制程湿法设备

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