SMIF

ASL200用于与工艺设备的装载端口传送，可轻松地将SMIF-Pod的装卸集成到各种200 mm和150 mm晶圆处理装载工具。 ASL200专为需要真空加载锁定工具的自适应和设备制造商应用而设计，是一种多种晶圆厂工具提供SMIF功能，并在缩短周期时间和减小占位面积，晶圆监测和重新定位功能等的特点。

零售价

0.0

元

市场价

0.0

元

浏览量:

1000

产品编号

数量

-

+

库存:

所属分类

返回列表



1

设备展示

产品描述

参数

设备名称	SMIF
型号	ASL200
工艺应用	200mm Wafer 标准装载台
尺寸（参考）	1578450490mm
传送速度	50mm/s
设备净重	45KG
Carrier ID	集成Smart Tag Reader功能
通讯方式	串口，ASCII
SEMI标准	E15 E19 S2 S8
FFU	具备FFU
设备特点	ASL200用于与工艺设备的装载端口传送，可轻松地将SMIF-Pod的装卸集成到各种200 mm和150 mm晶圆处理装载工具。 ASL200专为需要真空加载锁定工具的自适应和设备制造商应用而设计，是一种多种晶圆厂工具提供SMIF功能，并在缩短周期时间和减小占位面积，晶圆监测和重新定位功能等的特点。