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SMIF
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产品描述
参数
设备名称 |
SMIF |
型号 |
ASL200 |
工艺应用 |
200mm Wafer 标准装载台 |
尺寸(参考) |
1578*450*490mm |
传送速度 |
50mm/s |
设备净重 |
45KG |
Carrier ID |
集成Smart Tag Reader功能 |
通讯方式 |
串口,ASCII |
SEMI标准 |
E15 E19 S2 S8 |
FFU |
具备FFU |
设备特点 |
ASL200用于与工艺设备的装载端口传送,可轻松地将SMIF-Pod的装卸集成到各种200 mm和150 mm晶圆处理装载工具。 ASL200专为需要真空加载锁定工具的自适应和设备制造商应用而设计,是一种多种晶圆厂工具提供SMIF功能,并在缩短周期时间和减小占位面积,晶圆监测和重新定位功能等的特点。 |
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