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SMIF
ASL200用于与工艺设备的装载端口传送，可轻松地将SMIF-Pod的装卸集成到各种200 mm和150 mm晶圆处理装载工具。 ASL200专为需要真空加载锁定工具的自适应和设备制造商应用而设计，是一种多种晶圆厂工具提供SMIF功能，并在缩短周期时间和减小占位面积，晶圆监测和重新定位功能等的特点。
关键词：
SMIF
所属分类：
工艺制程湿法设备
产品附件：
咨询热线：
SMIF
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设备名称 |
SMIF |
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型号 |
ASL200 |
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工艺应用 |
200mm Wafer 标准装载台 |
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尺寸（参考） |
1578*450*490mm |
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传送速度 |
50mm/s |
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设备净重 |
45KG |
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Carrier ID |
集成Smart Tag Reader功能 |
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通讯方式 |
串口，ASCII |
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SEMI标准 |
E15 E19 S2 S8 |
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FFU |
具备FFU |
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设备特点 |
ASL200用于与工艺设备的装载端口传送，可轻松地将SMIF-Pod的装卸集成到各种200 mm和150 mm晶圆处理装载工具。 ASL200专为需要真空加载锁定工具的自适应和设备制造商应用而设计，是一种多种晶圆厂工具提供SMIF功能，并在缩短周期时间和减小占位面积，晶圆监测和重新定位功能等的特点。 |
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