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6寸槽式半自动清洗设备
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设备名称 |
6寸槽式半自动清洗设备 |
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型号 |
WSW150S |
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工艺应用 |
适用于晶圆RCA清洗 |
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尺寸 |
2500W*1400D*1850Hmm |
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清洗件规格 |
6寸硅片 |
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设备净重 |
1T±10% |
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操作方式 |
手动/半自动 |
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