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8寸槽式全自动清洗设备
○ 设备依据客户需求量身定做
○ 良好的设备稳定性和可靠性
○ 有效控制金属、材料及微粒子的交叉污染
○ 软件和硬件的模块化设计
○ 支持SMIF自动传输
○ 软件支持GEM/SECSII 接口,提供EAP功能
○ 实时记录生产数据,多种数据分析功能
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产品描述
参数
设备名称 |
8寸槽式全自动清洗设备 |
型号 |
WSW200A |
工艺应用 |
OXIDE Reclaim、RCA、Pre –Diffusion、Pre-Metal、等 |
尺寸(参考) |
8600W*2200D*2500Hmm |
清洗件规格 |
8寸圆片 |
设备净重 |
约3000Kg |
操作方式 |
全自动 |
设备特点 |
可以提供完整的湿法工艺解决方案 |
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6寸槽式全自动清洗设备

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