8寸槽式全自动清洗设备

○ 可以提供完整的湿法工艺解决方案
○ 设备依据客户需求量身定做
○ 良好的设备稳定性和可靠性
○ 有效控制金属、材料及微粒子的交叉污染
○ 软件和硬件的模块化设计
○ 支持SMIF自动传输
○ 软件支持GEM/SECSII 接口，提供EAP功能
○ 实时记录生产数据，多种数据分析功能

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产品描述

参数

设备名称	8寸槽式全自动清洗设备
型号	WSW200A
工艺应用	OXIDE Reclaim、RCA、Pre –Diffusion、Pre-Metal、等
尺寸（参考）	8600W2200D2500Hmm
清洗件规格	8寸圆片
设备净重	约3000Kg
操作方式	全自动
设备特点	可以提供完整的湿法工艺解决方案设备依据客户需求量身定做良好的设备稳定性和可靠性有效控制金属、材料及微粒子的交叉污染软件和硬件的模块化设计支持SMIF自动传输软件支持GEM/SECSII 接口，提供EAP功能实时记录生产数据，多种数据分析功能