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Load port
○ Load Port被安装在EFEM前，用来作为wafer进出EFEM的窗口；
○ 用于工具自动化的智能且灵活的工厂接口模块；
○ 支持卓越的可靠性和超净性能；
○ 最大程度地实现交互操作性，无缝互换性和易于配置；
○ 与所有手动或通过AMHS车辆交付的符合SEMI要求的FOUP和自动前开式装运箱（FOSB）兼容；
○ 在搬运过程中用来保持wafer的洁净度。
○ 用于工具自动化的智能且灵活的工厂接口模块；
○ 支持卓越的可靠性和超净性能；
○ 最大程度地实现交互操作性，无缝互换性和易于配置；
○ 与所有手动或通过AMHS车辆交付的符合SEMI要求的FOUP和自动前开式装运箱（FOSB）兼容；
○ 在搬运过程中用来保持wafer的洁净度。
关键词：
Load port
所属分类：
全自动晶圆搬运系统
产品附件：
咨询热线：
Load port
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设备名称 |
Load port |
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型号 |
ASL300 |
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工艺应用 |
300mm Wafer 标准装载台 |
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尺寸（参考） |
1386*472*493（mm） |
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Wafer规格 |
300mm（12寸）Wafer |
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设备净重 |
70KG |
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控制接口 |
串口，以太网 |
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Mapping |
具备Mapping功能 |
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Carrier ID |
具备Carrier ID Reader |
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SEMI标准 |
E15E57E62E63E64E110S2 S8 S14 |
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设备特点 |
Load Port被安装在EFEM前，用来作为wafer进出EFEM的窗口； |
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