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Load port
○ Load Port被安装在EFEM前,用来作为wafer进出EFEM的窗口;
○ 用于工具自动化的智能且灵活的工厂接口模块;
○ 支持卓越的可靠性和超净性能;
○ 最大程度地实现交互操作性,无缝互换性和易于配置;
○ 与所有手动或通过AMHS车辆交付的符合SEMI要求的FOUP和自动前开式装运箱(FOSB)兼容;
○ 在搬运过程中用来保持wafer的洁净度。
○ 用于工具自动化的智能且灵活的工厂接口模块;
○ 支持卓越的可靠性和超净性能;
○ 最大程度地实现交互操作性,无缝互换性和易于配置;
○ 与所有手动或通过AMHS车辆交付的符合SEMI要求的FOUP和自动前开式装运箱(FOSB)兼容;
○ 在搬运过程中用来保持wafer的洁净度。
关键词:
Load port
所属分类:
全自动晶圆搬运系统
产品附件:

咨询热线:
Load port
设备名称 |
Load port |
型号 |
ASL300 |
工艺应用 |
300mm Wafer 标准装载台 |
尺寸(参考) |
1386*472*493(mm) |
Wafer规格 |
300mm(12寸)Wafer |
设备净重 |
70KG |
控制接口 |
串口,以太网 |
Mapping |
具备Mapping功能 |
Carrier ID |
具备Carrier ID Reader |
SEMI标准 |
E15E57E62E63E64E110S2 S8 S14 |
设备特点 |
Load Port被安装在EFEM前,用来作为wafer进出EFEM的窗口; |
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