Load port

○ Load Port被安装在EFEM前，用来作为wafer进出EFEM的窗口；
○ 用于工具自动化的智能且灵活的工厂接口模块；
○ 支持卓越的可靠性和超净性能；
○ 最大程度地实现交互操作性，无缝互换性和易于配置；
○ 与所有手动或通过AMHS车辆交付的符合SEMI要求的FOUP和自动前开式装运箱（FOSB）兼容；
○ 在搬运过程中用来保持wafer的洁净度。

关键词：

Load port

所属分类：

全自动晶圆搬运系统

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Load port

设备名称	Load port
型号	ASL300
工艺应用	300mm Wafer 标准装载台
尺寸（参考）	1386472493（mm）
Wafer规格	300mm（12寸）Wafer
设备净重	70KG
控制接口	串口，以太网
Mapping	具备Mapping功能
Carrier ID	具备Carrier ID Reader
SEMI标准	E15E57E62E63E64E110S2 S8 S14
设备特点	Load Port被安装在EFEM前，用来作为wafer进出EFEM的窗口；用于工具自动化的智能且灵活的工厂接口模块；支持卓越的可靠性和超净性能；最大程度地实现交互操作性，无缝互换性和易于配置；与所有手动或通过AMHS车辆交付的符合SEMI要求的FOUP和自动前开式装运箱（FOSB）兼容；在搬运过程中用来保持wafer的洁净度。

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