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IPA干燥机
○ 以Marangoni效应为基础的IPA干燥技术
○ 慢提拉、慢排水功能可选，参数可灵活设置
○ 配置灭火装置，选配烟感，温感，光感及CO2
○ PLC+触摸屏控制方式，可预设多条Recipe
○ 参数设定，过程监控，操作简洁
○ 慢提拉、慢排水功能可选，参数可灵活设置
○ 配置灭火装置，选配烟感，温感，光感及CO2
○ PLC+触摸屏控制方式，可预设多条Recipe
○ 参数设定，过程监控，操作简洁
关键词：
IPA干燥机
所属分类：
附属湿法清洗设备
产品附件：
咨询热线：
IPA干燥机
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设备名称 |
IPA干燥机 |
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型号 |
WIPA150/200/300 |
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工艺应用 |
适用于4“~8”晶圆的干燥 |
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尺寸（参考） |
1000W*800D*2000Hmm |
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清洗件规格 |
4“~8”硅片 |
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设备净重 |
约200Kg |
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操作方式 |
手动/半自动 |
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设备特点 |
以Marangoni效应为基础的IPA干燥技术 |
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