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CDS


○ 用于半导体制程中湿法工艺涉及的高纯化学药液的自动供给
○ 完全满足客户化定制,药液可按需供给
○ 可灵活实现化学药液的多点供应
○ 可配置多桶,自动切换,实现不间断工作
○ 可配置双泵,一用一备,提高设备可靠性
○ 合理布局,提升操作便利性及安全性
○ 全封闭设计,满足IC制程洁净度要求

关键词:

CDS

所属分类:

附属湿法清洗设备

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