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CDS
○ 用于半导体制程中湿法工艺涉及的高纯化学药液的自动供给
○ 完全满足客户化定制,药液可按需供给
○ 可灵活实现化学药液的多点供应
○ 可配置多桶,自动切换,实现不间断工作
○ 可配置双泵,一用一备,提高设备可靠性
○ 合理布局,提升操作便利性及安全性
○ 全封闭设计,满足IC制程洁净度要求
○ 完全满足客户化定制,药液可按需供给
○ 可灵活实现化学药液的多点供应
○ 可配置多桶,自动切换,实现不间断工作
○ 可配置双泵,一用一备,提高设备可靠性
○ 合理布局,提升操作便利性及安全性
○ 全封闭设计,满足IC制程洁净度要求
关键词:
CDS
所属分类:
附属湿法清洗设备
产品附件:

咨询热线:
CDS
设备名称 |
Chemical Deliver System |
型号 |
WCDS100 |
工艺应用 |
用于半导体制程中湿法工艺涉及的高纯化学药液的自动供给 |
尺寸(参考) |
约1400(L)×800(L)×1300mm(L) |
设备净重 |
约200Kg |
操作方式 |
自动 |
|
用于半导体制程中湿法工艺涉及的高纯化学药液的自动供给 |
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