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Tube/Boat Clean(立式/卧式)


○ 支持EAP,FDC,MES等功能;
○ PLC触摸屏控制方式;
○ 可预设多条Recipe;
○ 自动补、配液;
○ 软件多重安全互锁;
○ 多任务并行处理,有效的提高产能;
○ 工艺窗口开放,各工艺时间可自由设定。

关键词:

Tube/Boat Clean(立式/卧式)

所属分类:

附属湿法清洗设备

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Tube/Boat Clean(立式/卧式)


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