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Tube/Boat Clean(立式/卧式)
○ 支持EAP,FDC,MES等功能;
○ PLC触摸屏控制方式;
○ 可预设多条Recipe;
○ 自动补、配液;
○ 软件多重安全互锁;
○ 多任务并行处理,有效的提高产能;
○ 工艺窗口开放,各工艺时间可自由设定。
○ PLC触摸屏控制方式;
○ 可预设多条Recipe;
○ 自动补、配液;
○ 软件多重安全互锁;
○ 多任务并行处理,有效的提高产能;
○ 工艺窗口开放,各工艺时间可自由设定。
关键词:
Tube/Boat Clean(立式/卧式)
所属分类:
附属湿法清洗设备
产品附件:
咨询热线:
Tube/Boat Clean(立式/卧式)
设备名称 |
石英管/舟清洗机 |
型号 |
WST300 |
工艺应用 |
扩散炉管及石英舟、石英零件清洗 |
尺寸(参考) |
3500W*3000D*2300Hmm |
清洗件规格 |
6“~12“扩散炉管 |
设备净重 |
约3000Kg |
操作方式 |
半自动/全自动 |
设备特点 |
支持EAP,FDC,MES等功能; |
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