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硅块、硅棒清洗机
○ 工艺过程全自动处理
○ 可预设多条Recipe,操作简洁
○ 选配SECS/GEM接口
○ 支持厂务MES自动化控制系统
○ 根据工艺需求,模块化,配置Leak Sensor
○ 可预设多条Recipe,操作简洁
○ 选配SECS/GEM接口
○ 支持厂务MES自动化控制系统
○ 根据工艺需求,模块化,配置Leak Sensor
关键词:
硅块、硅棒清洗机
所属分类:
材料厂用湿法设备
产品附件:

咨询热线:
硅块、硅棒清洗机
设备名称 |
硅块、硅棒清洗机; |
型号 |
WSK150/200/300 A/M |
工艺应用 |
适用于多晶硅块(棒)自动腐蚀清洗; |
尺寸(参考) |
4000W*2200D*2200Hmm |
清洗件规格 |
硅块:粒径>5mm;20Kg/篮 |
设备净重 |
约2000Kg |
操作方式 |
半自动/全自动 |
设备特点 |
工艺过程全自动处理 |
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