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有机清洗机


1.人工实现物料在各工位的移位,各工艺槽工艺处理自动完成
2.先进超声模块,提高清洗效果
3.自动配、补液功能,精确控制配比
可预设多条Recipe,操作简洁
CDS达到半导体制程中湿法工艺水平,高纯化学药液的自动供给
选配SECS/GEM接口
支持厂务MES自动化控制系统

关键词:

有机清洗机

所属分类:

特种定制湿法设备

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