有机清洗机

1.人工实现物料在各工位的移位，各工艺槽工艺处理自动完成
2.先进超声模块，提高清洗效果
3.自动配、补液功能，精确控制配比
可预设多条Recipe，操作简洁
CDS达到半导体制程中湿法工艺水平，高纯化学药液的自动供给
选配SECS/GEM接口
支持厂务MES自动化控制系统

关键词：

有机清洗机

所属分类：

特种定制湿法设备

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有机清洗机

设备名称	有机清洗机
型号	WSA150/200/300 A/M
工艺应用	清洗、蚀刻、去胶、显影、切片后、研磨后等
尺寸（参考）	2500W1400D1850Hmm
清洗件规格	6寸硅片（兼容4寸）
设备净重	800~1000Kg
操作方式	手动/半自动
设备特点	1.人工实现物料在各工位的移位，各工艺槽工艺处理自动完成 2.先进超声模块，提高清洗效果 3.自动配、补液功能，精确控制配比可预设多条Recipe，操作简洁 CDS达到半导体制程中湿法工艺水平，高纯化学药液的自动供给选配SECS/GEM接口支持厂务MES自动化控制系统

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