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6~8寸 槽式全自动清洗设备
目标客户：FAB
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产品描述
参数
工艺应用：
去胶及去胶后清洗
炉管及长膜前清洗
设备特点：
可以提供完整的湿法工艺解决方案
设备依据客户需求量身定做
良好的设备稳定性和可靠性
有效控制金属、材料及微粒子的交叉污染
软件和硬件的模块化设计
支持SMIF自动传输
软件支持GEM/SECSII 接口，提供EAP功能
实时记录生产数据，多种数据分析功能
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