产品中心

Product Center

电子货架(E-Rack)

适用场景:用于存放Reticle并将信息上传
设备特点:
1、LED Display,显示操作成功与否,及每个Reticle的详细信息;
2、RFID Reader,判断存储位是否被占用并读取Reticle信息;
3、XCDA Purge,每个存放Reticle位置上部都配有XCDA Purge吹扫口,每个Reticle位置气体流量30NL/min(0.3MPa时),每层通过流量开关实现2~200L/Min流量调节并配手阀开关,可控制吹扫频率,配置XCDA低压报警装置。
4、E-Rack实时读取Reticle上的RFIDtag,将RFID资料通过网口传送到MES系统上进行统一管理,可实时查看E-Rack上Reticle存储情况

自动搬运小车(AIV)

适用场景:用于搬运和抓取FOUP或Reticle
设备特点:
1、高精度定位,协作机器人内建视觉系统,结合协作机器人实现对物体的精准抓放,重复定位精度可达0.1mm
2、通过配套软件对厂区地图进行扫描,并结合点位规划、设计,无需具备专业知识即可快速完成地图的建立,实时扫描环境与内部地图进行比对来实现定位,优化路径选择
3、通过EM车队调度管理器来实现优化路径计算、优先派单、避障等技术,实现智能工厂的人流、物流、信息流有效协同,提升管理水平
4、通过车头的安全激光,能够自主进行避障,同时在车尾安装有声纳,能够检测后方障碍物体;并通过设定的安全距离、速度、加速度等相关参数,安全平稳的行驶

< 1 > 前往