产品中心
Product Center
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PRODUCTS CENTER
适用场景：用于存放Reticle并将信息上传
设备特点：
1、LED Display，显示操作成功与否，及每个Reticle的详细信息；
2、RFID Reader，判断存储位是否被占用并读取Reticle信息；
3、XCDA Purge，每个存放Reticle位置上部都配有XCDA Purge吹扫口，每个Reticle位置气体流量30NL/min（0.3MPa时），每层通过流量开关实现2~200L/Min流量调节并配手阀开关，可控制吹扫频率，配置XCDA低压报警装置。
4、E-Rack实时读取Reticle上的RFIDtag，将RFID资料通过网口传送到MES系统上进行统一管理，可实时查看E-Rack上Reticle存储情况
设备特点：
1、LED Display，显示操作成功与否，及每个Reticle的详细信息；
2、RFID Reader，判断存储位是否被占用并读取Reticle信息；
3、XCDA Purge，每个存放Reticle位置上部都配有XCDA Purge吹扫口，每个Reticle位置气体流量30NL/min（0.3MPa时），每层通过流量开关实现2~200L/Min流量调节并配手阀开关，可控制吹扫频率，配置XCDA低压报警装置。
4、E-Rack实时读取Reticle上的RFIDtag，将RFID资料通过网口传送到MES系统上进行统一管理，可实时查看E-Rack上Reticle存储情况
适用场景：用于搬运和抓取FOUP或Reticle
设备特点：
1、高精度定位，协作机器人内建视觉系统，结合协作机器人实现对物体的精准抓放，重复定位精度可达0.1mm
2、通过配套软件对厂区地图进行扫描，并结合点位规划、设计，无需具备专业知识即可快速完成地图的建立，实时扫描环境与内部地图进行比对来实现定位，优化路径选择
3、通过EM车队调度管理器来实现优化路径计算、优先派单、避障等技术，实现智能工厂的人流、物流、信息流有效协同，提升管理水平
4、通过车头的安全激光，能够自主进行避障，同时在车尾安装有声纳，能够检测后方障碍物体；并通过设定的安全距离、速度、加速度等相关参数，安全平稳的行驶
设备特点：
1、高精度定位，协作机器人内建视觉系统，结合协作机器人实现对物体的精准抓放，重复定位精度可达0.1mm
2、通过配套软件对厂区地图进行扫描，并结合点位规划、设计，无需具备专业知识即可快速完成地图的建立，实时扫描环境与内部地图进行比对来实现定位，优化路径选择
3、通过EM车队调度管理器来实现优化路径计算、优先派单、避障等技术，实现智能工厂的人流、物流、信息流有效协同，提升管理水平
4、通过车头的安全激光，能够自主进行避障，同时在车尾安装有声纳，能够检测后方障碍物体；并通过设定的安全距离、速度、加速度等相关参数，安全平稳的行驶
适用场景：一般主要用在半导体晶圆搬运和传输等装置，如EFEM、倒片机等。(FAB使用，其余使用场所未知)
设备特点：
1、FOUP内晶圆片检测，可检测出叠片、斜片、缺片等；
2、可加增FOUP内高纯氮气进排吹扫，即N2 Purge功能 ；
3、可选RFID读取器和Mapping sensor；
4、可加增Optical I/O（符合E84标准）；
5、Modbus TCP/IP通讯方式
6、选配SECS/GEM接口
设备特点：
1、FOUP内晶圆片检测，可检测出叠片、斜片、缺片等；
2、可加增FOUP内高纯氮气进排吹扫，即N2 Purge功能 ；
3、可选RFID读取器和Mapping sensor；
4、可加增Optical I/O（符合E84标准）；
5、Modbus TCP/IP通讯方式
6、选配SECS/GEM接口
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