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6寸槽式全自动清洗设备
○ 可以提供完整的湿法工艺解决方案
○ 设备依据客户需求量身定做
○ 良好的设备稳定性和可靠性
○ 有效控制金属、材料及微粒子的交叉污染
○ 软件和硬件的模块化设计
○ 选配SECS/GEM接口
○ 支持厂务MES自动化控制系统
○ 设备依据客户需求量身定做
○ 良好的设备稳定性和可靠性
○ 有效控制金属、材料及微粒子的交叉污染
○ 软件和硬件的模块化设计
○ 选配SECS/GEM接口
○ 支持厂务MES自动化控制系统
8寸槽式全自动清洗设备
○ 可以提供完整的湿法工艺解决方案
○ 设备依据客户需求量身定做
○ 良好的设备稳定性和可靠性
○ 有效控制金属、材料及微粒子的交叉污染
○ 软件和硬件的模块化设计
○ 支持SMIF自动传输
○ 软件支持GEM/SECSII 接口，提供EAP功能
○ 实时记录生产数据，多种数据分析功能
○ 设备依据客户需求量身定做
○ 良好的设备稳定性和可靠性
○ 有效控制金属、材料及微粒子的交叉污染
○ 软件和硬件的模块化设计
○ 支持SMIF自动传输
○ 软件支持GEM/SECSII 接口，提供EAP功能
○ 实时记录生产数据，多种数据分析功能
Tube/Boat Clean（立式/卧式）
○ 支持EAP,FDC,MES等功能；
○ PLC触摸屏控制方式；
○ 可预设多条Recipe;
○ 自动补、配液；
○ 软件多重安全互锁；
○ 多任务并行处理，有效的提高产能；
○ 工艺窗口开放，各工艺时间可自由设定。
○ PLC触摸屏控制方式；
○ 可预设多条Recipe;
○ 自动补、配液；
○ 软件多重安全互锁；
○ 多任务并行处理，有效的提高产能；
○ 工艺窗口开放，各工艺时间可自由设定。
RCA清洗机
○ 人工实现物料在各工位的移位，各工艺槽工艺处理自动完成
○ 先进超声模块，提高清洗效果
○ 自动配、补液功能，精确控制配比
○ 可预设多条Recipe，操作简洁
○ CDS达到半导体制程中湿法工艺水平，高纯化学药液的自动供给
○ 选配SECS/GEM接口
○ 支持厂务MES自动化控制系统
○ 先进超声模块，提高清洗效果
○ 自动配、补液功能，精确控制配比
○ 可预设多条Recipe，操作简洁
○ CDS达到半导体制程中湿法工艺水平，高纯化学药液的自动供给
○ 选配SECS/GEM接口
○ 支持厂务MES自动化控制系统
硅块、硅棒清洗机
○ 工艺过程全自动处理
○ 可预设多条Recipe，操作简洁
○ 选配SECS/GEM接口
○ 支持厂务MES自动化控制系统
○ 根据工艺需求，模块化，配置Leak Sensor
○ 可预设多条Recipe，操作简洁
○ 选配SECS/GEM接口
○ 支持厂务MES自动化控制系统
○ 根据工艺需求，模块化，配置Leak Sensor
切片、磨片清洗机
○ 工艺过程全自动处理
○ 可预设多条Recipe，操作简洁
○ 选配SECS/GEM接口
○ 支持厂务MES自动化控制系统
○ 根据工艺需求，模块化，配置Leak Sensor
○ 可预设多条Recipe，操作简洁
○ 选配SECS/GEM接口
○ 支持厂务MES自动化控制系统
○ 根据工艺需求，模块化，配置Leak Sensor
IPA干燥机
○ 以Marangoni效应为基础的IPA干燥技术
○ 慢提拉、慢排水功能可选，参数可灵活设置
○ 配置灭火装置，选配烟感，温感，光感及CO2
○ PLC+触摸屏控制方式，可预设多条Recipe
○ 参数设定，过程监控，操作简洁
○ 慢提拉、慢排水功能可选，参数可灵活设置
○ 配置灭火装置，选配烟感，温感，光感及CO2
○ PLC+触摸屏控制方式，可预设多条Recipe
○ 参数设定，过程监控，操作简洁
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