型号：WSF300
(Proved to Leading company)
○ 具备两个OC以及两个Chamber满足客户产能需求
○ 高压去离子喷淋
○ FOUP本体和Cover分离清洗
○ OC具备Dry Clean功能
○ Chamber具备Wet Clean、甩干以及真空+IR干燥功能
○ 最大清洗能力18UPH
○ 真空净化去除AMC、真空IR干燥
○ 支持OHT、AGV接口
支持EAP、FDC、MES等功能