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SMIF

ASL200用于与工艺设备的装载端口传送,可轻松地将SMIF-Pod的装卸集成到各种200 mm和150 mm晶圆处理装载工具。 ASL200专为需要真空加载锁定工具的自适应和设备制造商应用而设计,是一种多种晶圆厂工具提供SMIF功能,并在缩短周期时间和减小占位面积,晶圆监测和重新定位功能等的特点。
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产品描述
参数

设备名称

SMIF

型号

ASL200

工艺应用

200mm Wafer 标准装载台

尺寸(参考)

1578*450*490mm

传送速度

50mm/s

设备净重

45KG

Carrier ID

集成Smart Tag Reader功能

通讯方式

串口,ASCII

SEMI标准

E15 E19 S2 S8

FFU

具备FFU

 

设备特点

ASL200用于与工艺设备的装载端口传送,可轻松地将SMIF-Pod的装卸集成到各种200 mm和150 mm晶圆处理装载工具。 ASL200专为需要真空加载锁定工具的自适应和设备制造商应用而设计,是一种多种晶圆厂工具提供SMIF功能,并在缩短周期时间和减小占位面积,晶圆监测和重新定位功能等的特点。

 

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