6寸槽式全自动清洗设备

○ 可以提供完整的湿法工艺解决方案
○ 设备依据客户需求量身定做
○ 良好的设备稳定性和可靠性
○ 有效控制金属、材料及微粒子的交叉污染
○ 软件和硬件的模块化设计
○ 选配SECS/GEM接口
○ 支持厂务MES自动化控制系统

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产品描述

参数

设备名称	6寸槽式全自动清洗设备
型号	WSW150A
工艺应用	清洗、蚀刻、去胶、显影、切片后、研磨后等
尺寸（参考）	6000W1600D2200Hmm
清洗件规格	6寸硅片（兼容4寸）
设备净重	约2000Kg
操作方式	全自动
设备特点	可以提供完整的湿法工艺解决方案设备依据客户需求量身定做良好的设备稳定性和可靠性有效控制金属、材料及微粒子的交叉污染软件和硬件的模块化设计选配SECS/GEM接口支持厂务MES自动化控制系统