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6寸槽式全自动清洗设备

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6寸槽式全自动清洗设备

○ 可以提供完整的湿法工艺解决方案
○ 设备依据客户需求量身定做
○ 良好的设备稳定性和可靠性
○ 有效控制金属、材料及微粒子的交叉污染
○ 软件和硬件的模块化设计
○ 选配SECS/GEM接口
○ 支持厂务MES自动化控制系统
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产品描述
参数

设备名称

6寸槽式全自动清洗设备

型号

WSW150A

工艺应用

清洗、蚀刻、去胶、显影、切片后、研磨后等

尺寸(参考)

6000W*1600D*2200Hmm

清洗件规格

6寸硅片(兼容4寸)

设备净重

约2000Kg

操作方式

全自动

 

设备特点

可以提供完整的湿法工艺解决方案
设备依据客户需求量身定做
良好的设备稳定性和可靠性
有效控制金属、材料及微粒子的交叉污染
软件和硬件的模块化设计
选配SECS/GEM接口
支持厂务MES自动化控制系统

 

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