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FOUP Buffer

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FOUP Buffer

FOUP Buffer (ASF300)
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参数

　　在半导体工厂里面， 有许多工艺机台的through put 可以达到一天2000片以上， 相当于一小时100片左右。

　　主要功能是前置在机台load port 区域，存储FOUP， 不让机台idle下来。 减少人员搬运的频率， 尤其是在交接班， 吃饭时间的人员紧缺的时候。

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防爆柜
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